可編程相位光柵的結(jié)構(gòu)設(shè)計與制作工藝

可編程相位光柵技術(shù)在光通訊領(lǐng)域有較廣的應(yīng)用,也可作為微型光譜儀的新穎色散器件.該文設(shè)計了一種基于MEMS的可編程相位光柵,其特征參數(shù)可以通過編程控制和改變.通過經(jīng)典理論建模與分析,設(shè)計了可編程相位光柵的結(jié)構(gòu); 并對光柵的光帶結(jié)構(gòu)參數(shù)進行了優(yōu)化,從而有利于可編程相位光柵功能的實現(xiàn),提高了制作的可靠性和成功率; 設(shè)計了針對可編程相位光柵的表面硅微工藝,并對改善應(yīng)力、去犧牲層和防粘連等關(guān)鍵問題進行了分析,改進了工藝,成功研制出樣品,其結(jié)構(gòu)尺寸約為 4 mm×6 mm, 有效工作部分的面積約為4 mm×2 mm.

作 者： 殷玲 陳非凡   作者單位： 清華大學,精密儀器與機械學系,北京,100084  刊 名： 清華大學學報(自然科學版)  ISTIC EI PKU 英文刊名： JOURNAL OF TSINGHUA UNIVERSITY(SCIENCE AND TECHNOLOGY)  年，卷(期)： 2003 43(8)  分類號： O433.4 TN403 TH744  關(guān)鍵詞： 光譜分析   微光機電系統(tǒng)   微機電系統(tǒng)   可編程相位光柵   表面微工藝  

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