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基于光對準的多傳感器軸裝配誤差補償技術
含有多傳感器的微機電系統(tǒng)在組裝傳感器時,一般存在著軸對準問題,軸的非對準誤差能導致很大的系統(tǒng)測量誤差.為此提出一種基于光對準的誤差補償方法,可以在不需要高精度軸對準的前提下,對裝配后的組件進行后續(xù)誤差檢測和實時補償,有效地消除裝配誤差對測量精度的影響.將該方法實施于微機電方位水平儀,用以測量姿態(tài),通過仿真結果證實了方法的有效性.
作 者: 朱榮 周兆英 孫雪峰 作者單位: 清華大學,精密儀器與機械學系,北京,100084 刊 名: 清華大學學報(自然科學版) ISTIC EI PKU 英文刊名: JOURNAL OF TSINGHUA UNIVERSITY(SCIENCE AND TECHNOLOGY) 年,卷(期): 2002 42(11) 分類號: V447 關鍵詞: 微機電系統(tǒng) 多傳感器 軸裝配誤差 光對準 誤差補償【基于光對準的多傳感器軸裝配誤差補償技術】相關文章:
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